半导体温控-半导体制冷装置-chiller-普泰克(上海)制冷设备技术有限公司

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  • Chiller
    Chiller

    Chiller主要用于半导体制程中对多路反应腔室的精准控温,装置由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成,采用先进的控制算法,提高了chiller的稳定性、控温精度和反应速度。在带负载的情况下控温精度可达±0.5℃,可在-20℃~85℃之间任意控温,有良好的温度稳定性。

    更新时间:2024-09-12型号:浏览量:72
  • 半导体温控设备Chiller
    半导体温控设备Chiller

    半导体温控设备Chiller由制冷,加热单元,循环,控制系统组成,全密封结构对环境友好,产品系统多,控温范围广,智能化控制软件,加热制冷速度快。

    更新时间:2024-09-12型号:浏览量:2607
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